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臺式壁式兩用;，擋調速，吸集塵運轉噪聲低;，出風口左右分開，路出風，便于形成良好的循環(huán)氣流，如與空調器并用效果更佳，風淋室是員工進入潔凈室或無塵車間必備的凈化設備之它可以大限度地減少員工進出潔凈室所帶來的污染問題。

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圖根據(jù)氣流方向進行分類的潔凈工作臺，根據(jù)空氣過濾器級別分類，m（相當于操作人員在操作時耳部位置）處測量，然后關閉潔凈工作臺風機，在相同位置測量背景噪聲，并根據(jù)測得的背景噪聲對測試結果進行相應的修正；。

此外，潔凈工作臺還可配備紫外線滅菌燈、除靜電設備、不銹鋼孔板臺面、壓力表、風速液晶顯示面板等，空氣過濾器，作為塵埃粒子進入潔凈工作區(qū)的后道防線，其自身性能及安裝質量的優(yōu)劣直接關系到潔凈工作臺能否滿足要求。

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凈化單元包括風機、過濾器及均流層等；，具體測試方法：在潔凈工作臺操作口邊緣外側所毗連的周圍環(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計數(shù)器或光度計在操作口邊緣內側巡檢，巡檢速度在mm/s以下。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應至Fab區(qū)。